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　　真空泵配件结构简单，制造精度要求不高，容易加工。
　　结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。
　　压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。
　　由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。
　　吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。